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CVD化學氣相沉積系統

更新時間： 2024-04-29

產品型號：

產品報價：

所在地：合肥市新站區穎河路22號

產品特點：化學氣相沉積設備描述：CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將設備置于移動柜上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一個7“的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

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產品概述

CVD化學氣相沉積系統技術參數

名稱	雙通道	三通道	四通道	五通道
CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統質量流量控制器	工作溫度：5~45ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度：5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復精度:±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度:5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度: 5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	· CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
機械壓力表	· 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 · 量程:-0.1~0.15 MPa
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	· 內部連接管道為Φ不銹鋼管 · 外部通氣管道為Φ聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
質量認證	CE認證
質保期	一年質保期，終身維護