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化學氣相沉積設備技術參數
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雙溫區滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z | 爐體結構 | 該化學氣相沉積設備采用雙層殼體并帶有風冷系統，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對滑軌，可手動滑動，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。 |
| 爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。) | |
| 功率 | 5kW | |
| 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
| 加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | |
| zui高溫度 | zui高溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃ | |
| 升溫速率 | ≦10℃/min（推薦） | |
| 加熱區長度度 | 化學氣相沉積設備兩個加熱區的長度都是200mm 分別由獨立的溫控系統控制 | |
| 恒溫區長 | 100+100mm（±1℃） 可獲得較長恒溫區間 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 快速連接法蘭 | Φ50快結式不銹鋼真空法蘭 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 | |
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五路質子流量控制系統 MFC-5Z
| 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
| 針閥材質 | 316不銹鋼 | |
| 量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據工藝要求提供多種量程選擇） | |
| 工作溫度 | 5～45℃ | |
| 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
| 電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
| 功率 | 23W | |
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真空系統 LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| zui大承載量 | 1000 Lbs | |
| 抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接 | |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件 | |
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使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
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